【第一參賽人/留學(xué)人員】王士京
【留學(xué)國(guó)家】日本
【技術(shù)領(lǐng)域】高端裝備與新能源汽車
【參賽屆次】第10屆
【所獲獎(jiǎng)項(xiàng)】二等獎(jiǎng)
【項(xiàng)目簡(jiǎn)介】
光刻膠灰化是芯片加工中一個(gè)重要的步驟,從成熟工藝到先進(jìn)工藝都離不開有機(jī)物掩膜的灰化(比如光刻膠灰化)這道工藝,此外隨著制造工藝技術(shù)節(jié)點(diǎn)的不斷推進(jìn),在灰化的同時(shí),對(duì)離子轟擊導(dǎo)致的表面損傷要求越來越高。目前國(guó)內(nèi)外加工廠所用主流的灰化刻蝕設(shè)備有Mattson,PSK,Lam等。前述幾個(gè)公司的關(guān)鍵技術(shù)主要掌握在國(guó)外團(tuán)隊(duì)手中,零部件國(guó)產(chǎn)化率低。本項(xiàng)目產(chǎn)品是全新的12寸灰化蝕刻機(jī),新型反應(yīng)機(jī)理,在完全去除有機(jī)物掩膜的同時(shí),最大程度地減少底層材料表面狀態(tài)的損傷,實(shí)現(xiàn)超低損傷的蝕刻性能。目前項(xiàng)目產(chǎn)品300A/300E在成熟和先進(jìn)節(jié)點(diǎn)得到了廣泛應(yīng)用。
【展開】
【收起】